Большой российский энциклопедический словарь ЛОКАЛЬНЫЙ ЛОКА́ЛЬНЫЙ АНАЛИЗ, определение хим. состава микрообъёмов или тонких слоёв тв. тел. Проводят методами электронной микроскопии (в сочетании с рентгеновским спектральным анализом), электронографии, масс-спектрометрии вторичных ионов и др.